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レーザの当て方

微細加工

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 パルス幅が非常に短く、ピークパワーが高いレーザを用いて行います。 樹脂などの高分子材料の除去加工では、波長が短いエキシマレーザなどのレーザを照射することによって、原子または分子間の結合が解かれ、瞬時に蒸発する光化学的な反応があります。この場合、材料は加熱されないので、加工した部分の周囲に熱影響層を残さない特徴があります。この加工をアブレーション(英語で除去)加工といいます。

 金属材料では光化学的な反応は見られませんが、蒸発除去加工は可能です。その加工を含めて、広い範囲でアブレーションと呼ぶことがあります。

■レーザックスの微細加工
・ミクロンオーダーの加工でも、充実した評価設備により、しっかり観察・評価が出来ます。


♣参考サンプル♣

・ポリイミドへの微細孔(穴)あけ

・非鉄金属への超高速孔(穴)あけ
 

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