ガラスへの精密孔あけ加工
ピコ秒パルスレーザー
超短パルスレーザーであるピコ秒レーザーは、μ単位の微細加工に特化し、超微細溶接・切断・孔あけに加え、ディンプル加工等表面改質加工にも対応できます。

搭載機基本仕様
| 最大加工寸法 | 500×500mm |
|---|---|
| 制御部 | 三菱電機NCコントローラー |
| 加工方式 | ステージ+ガルバノスキャナ |
| NC軸 | XYZ軸 |
| XY駆動方式 | ACサーボモータ+ボールネジ+スケールフィードバック |
| Z軸(レーザー軸)駆動方式 | ACサーボモータ+ボールネジ |
| XY軸移動距離 | 650mm/600mm |
| XYZ軸繰り返し精度 | ±2μm |
| XYZ軸絶対位置決め精度 | ±5μm |
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